標題: | 直流磁控電漿濺鍍腔體中多重尺度及物理現象之模擬及實驗研究(II) Multiscale and Multiphysics Modeling and Experiment of a DC-Magnetron Sputtering Chamber(II) |
作者: | 吳宗信 WU JONG-SHINN 交通大學機械工程系 |
公開日期: | 2005 |
官方說明文件#: | NSC94-2212-E009-012 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/90490 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1129110&docId=215076 |
顯示於類別: | 研究計畫 |