建立模擬非晶形矽薄膜沉積的化學動力學資料庫( III )

標題:	建立模擬非晶形矽薄膜沉積的化學動力學資料庫( III ) Chemical Kinetics Database for Simulations of A-Si:H Thin Film Growth (III)
作者:	林明璋 LIN MING CHANG 國立交通大學應用化學系（所）
公開日期:	2013
官方說明文件#:	NSC102-2113-M009-002
URI:	http://hdl.handle.net/11536/90705 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=3169947&docId=426488
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