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dc.contributor.author陳智en_US
dc.contributor.authorChen Chihen_US
dc.date.accessioned2014-12-13T10:31:05Z-
dc.date.available2014-12-13T10:31:05Z-
dc.date.issued2005en_US
dc.identifier.govdocNSC94-2623-7009-007-ATzh_TW
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/90707-
dc.identifier.urihttps://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1064793&docId=202559en_US
dc.description.sponsorship行政院國家科學委員會zh_TW
dc.language.isozh_TWen_US
dc.titleALD在Damascene銅製程應用之研究(III)zh_TW
dc.titleThe Application of ALD on Damascene Cu Metallization (III)en_US
dc.typePlanen_US
dc.contributor.department交通大學材料科學與工程系zh_TW
顯示於類別:研究計畫


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  1. 9426237009007AT.pdf

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