鎳陶瓷奈米複合材料之製作與特性的探討及其在高密度、高深寬比之穿透晶片導線與微機電系統製作上之應用

標題:	鎳陶瓷奈米複合材料之製作與特性的探討及其在高密度、高深寬比之穿透晶片導線與微機電系統製作上之應用 Fabrication and Characterization of Nickel-Ceramic Nanocomposite Materials for High Desity, Aspect Ratio Through-Wafer Electrical Interconnects and MEMS Applications
作者:	鄭裕庭 YU-TINGCHENG 國立交通大學電子工程學系
公開日期:	2003
官方說明文件#:	NSC92-2215-E009-043
URI:	http://hdl.handle.net/11536/92240 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=796408&docId=152698
顯示於類別：	研究計畫

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