具有低介電常數阻障介電薄膜製程整合之研究(I)

標題:	具有低介電常數阻障介電薄膜製程整合之研究(I) Study on the Integration of Barrier Dielectric with Low Dielectric Constant (I)
作者:	施敏 SZE SIMON MIN 交通大學電子工程系
公開日期:	2002
官方說明文件#:	NSC91-2215-E009-041
URI:	http://hdl.handle.net/11536/92656 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=784393&docId=150767
顯示於類別：	研究計畫

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