標題: 複晶矽鍺與MILC在低溫複晶矽薄膜電晶體上之應用---總計畫(I)
Poly-SiGe and MILC Technologies for Low Temperature TFT Application (I)
作者: 張俊彥
CHANG CHUN-YEN
國立交通大學電子工程學系
關鍵字: 多晶矽鍺;MILC技術;低溫;薄膜電晶體;Poly SiGe;MILC technology;Low temperature;Thin film transistor (TFT)
公開日期: 2001
官方說明文件#: NSC90-2215-E009-072
URI: http://hdl.handle.net/11536/93458
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=665718&docId=126378
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