低介電常數材料應用在超大型積體電路上之研究(II)

標題:	低介電常數材料應用在超大型積體電路上之研究(II) Study on Low Dielectric Constant Materials in ULSI Application (II)
作者:	施敏 SZE SIMON MIN 國立交通大學電子工程學系
關鍵字:	低介電常數;極大型積體電路;介電材料;Low dielectric constant;ULSI;Dielectric material
公開日期:	2001
官方說明文件#:	NSC90-2215-E009-047
URI:	http://hdl.handle.net/11536/94055 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=665631&docId=126355
Appears in Collections:	Research Plans

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