標題: | SBT鐵電薄膜製備與特性的分析(II) Fabrication and Properties of SrB/sub 12/Ta/sub 2/O/sub 9/ Ferroelectric Films (II) |
作者: | 曾俊元 TSEUNG-YUENTSENG 交通大學電子工程系 |
關鍵字: | 鐵電薄膜;SrB/sub12/Ta/sub2/O/sub9/;濺鍍;Ferroelectric film;SBT;Sputtering |
公開日期: | 1999 |
官方說明文件#: | NSC88-2112-M009-016 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/94393 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=426210&docId=76106 |
Appears in Collections: | Research Plans |