鏡面可調式內視鏡的研究---子計畫II：內視鏡用熱動式多自由度微致動器的設計與製作

標題:	鏡面可調式內視鏡的研究---子計畫II：內視鏡用熱動式多自由度微致動器的設計與製作 Design and Fabrication of Thermal-Driven Multi-DOF Microactuators for Endoscope
作者:	徐文祥 HSU WENSYANG 交通大學機械工程系
關鍵字:	微致動器;熱驅動;主動式內視鏡;多晶矽;微細加工;有限元素分析;Microactuator;Thermal driven;Active endoscope;Polysilicon;Micromachining;Finite element analysis (FEA)
公開日期:	1999
官方說明文件#:	NSC88-2218-E009-008
URI:	http://hdl.handle.net/11536/94488 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=431311&docId=77319
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