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dc.contributor.author葉清發en_US
dc.date.accessioned2014-12-13T10:37:53Z-
dc.date.available2014-12-13T10:37:53Z-
dc.date.issued2001en_US
dc.identifier.govdocNSC90-2215-E009-097zh_TW
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/94920-
dc.identifier.urihttps://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=665793&docId=126396en_US
dc.description.sponsorship行政院國家科學委員會zh_TW
dc.language.isozh_TWen_US
dc.subject奈米結構zh_TW
dc.subject金氧半導體元件zh_TW
dc.subject金屬閘zh_TW
dc.subject積體電路技術zh_TW
dc.subjectNanostructureen_US
dc.subjectMOS deviceen_US
dc.subjectMetal gateen_US
dc.subjectIC techniqueen_US
dc.title奈米金屬閘MOS元件製程技術之研發zh_TW
dc.titleStudy of Nano Metal Gate MOS Device Technology Fabricationen_US
dc.typePlanen_US
dc.contributor.department交通大學電子工程系zh_TW
顯示於類別:研究計畫


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