高精確度表面粗糙度測量儀的研究

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DC 欄位	值	語言
dc.contributor.author	蘇德欽	en_US
dc.contributor.author	SU DER-CHIN	en_US
dc.date.accessioned	2014-12-13T10:38:49Z	-
dc.date.available	2014-12-13T10:38:49Z	-
dc.date.issued	1996	en_US
dc.identifier.govdoc	NSC85-2215-E009-005	zh_TW
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11536/95750	-
dc.identifier.uri	https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=230105&docId=41802	en_US
dc.description.abstract	提出一種新型表面粗慥度測量儀並試組裝其prototype 以証明其可用性.在此測量儀使用本實驗室以前所進行光外差式研究所設計的新型移頻器及相位計,且為了避免氣流擾動及機械移動所引起振動的影響,參考光將採來至待測面某一部份的反射光,以確保其具有高的解析度及穩定度.更進一步,為了使其實用化,預定與電腦界面相連接,以達成及時量測.	zh_TW
dc.description.sponsorship	行政院國家科學委員會	zh_TW
dc.language.iso	zh_TW	en_US
dc.subject	表面粗糙度	zh_TW
dc.subject	移頻器	zh_TW
dc.subject	解析度	zh_TW
dc.subject	穩定度	zh_TW
dc.subject	Surface roughness	en_US
dc.subject	Frequency shifter	en_US
dc.subject	Resolution	en_US
dc.subject	Stability	en_US
dc.title	高精確度表面粗糙度測量儀的研究	zh_TW
dc.title	Research on High Resolution Optical Profilometer	en_US
dc.type	Plan	en_US
dc.contributor.department	國立交通大學光電工程研究所	zh_TW
顯示於類別：	研究計畫