| 標題: | 單晶之CVD薄膜和融化成長法製程中的不穩定熱流與使其穩定之研究---子計畫一：水平CVD單晶成長之不穩定熱流實驗與數值模擬研究(I) Experimental and Numerical Study of Unstable Flow and Heat Transfer in Horizontal CVD Growth of Single Crystal(I) |
| 作者: | 林清發 LIN TSING-FA 國立交通大學機械工程學系 |
| 關鍵字: | 薄膜單晶;熱浮力;慣性力;不穩定對流;渦流結構;化學蒸鍍法;Thin film single crystal;Inertia force;Unstable flow;Buoyancy;Vortex;CVD |
| 公開日期: | 1996 |
| 官方說明文件#: | NSC85-2212-E009-031 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/95780 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=230684&docId=41959 |
| Appears in Collections: | Research Plans |
