標題: 複晶矽薄膜電晶體相關技術之開發與研究---總計畫
Study and Development on Poly-Si Thin-Film Transistors and Their Related Technologies
作者: 李崇仁
國立交通大學電子工程學系
關鍵字: 複晶矽;薄膜電晶體;快速熱處理;Polyscilicon;Thin-film transistors;Rapid thermal processing
公開日期: 1996
官方說明文件#: NSC85-2215-E009-034
URI: http://hdl.handle.net/11536/95934
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=234749&docId=43101
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