標題: | 複晶矽薄膜電晶體相關技術之開發與研究---子計畫一:複晶矽薄膜電晶體之薄膜成長技術之研究 Growth Technology of Polycrystalline Silicon Films for Poly-Si Thin-Film Transistors |
作者: | 鄭晃忠 國立交通大學電子工程學系 |
關鍵字: | 複晶矽薄膜電晶體;複晶矽薄膜;快速退火處理;再結晶;Polysilicon thin film transistor;Polysilicon thin film;Rapid thermalprocess;Recrystallization |
公開日期: | 1996 |
官方說明文件#: | NSC85-2215-E009-035 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/96065 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=234557&docId=43052 |
顯示於類別: | 研究計畫 |