複晶矽薄膜電晶體相關技術之開發與研究---子計畫一：複晶矽薄膜電晶體之薄膜成長技術之研究

Date

Authors

Keywords

複晶矽薄膜電晶體 , 複晶矽薄膜 , 快速退火處理 , 再結晶 , Polysilicon thin film transistor , Polysilicon thin film , Rapid thermalprocess , Recrystallization

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=234557&docId=43052
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/96065

Collections

研究計畫;;Research Plans