標題: 複晶矽薄膜電晶體相關技術之開發與研究---子計畫一:複晶矽薄膜電晶體之薄膜成長技術之研究
Growth Technology of Polycrystalline Silicon Films for Poly-Si Thin-Film Transistors
作者: 鄭晃忠
國立交通大學電子工程學系
關鍵字: 複晶矽薄膜電晶體;複晶矽薄膜;快速退火處理;再結晶;Polysilicon thin film transistor;Polysilicon thin film;Rapid thermalprocess;Recrystallization
公開日期: 1996
官方說明文件#: NSC85-2215-E009-035
URI: http://hdl.handle.net/11536/96065
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=234557&docId=43052
顯示於類別:研究計畫