| 標題: | 複晶矽薄膜電晶體相關技術之開發與研究---子計畫一：複晶矽薄膜電晶體之薄膜成長技術之研究 Growth Technology of Polycrystalline Silicon Films for Poly-Si Thin-Film Transistors |
| 作者: | 鄭晃忠 國立交通大學電子工程學系 |
| 關鍵字: | 複晶矽薄膜電晶體;複晶矽薄膜;快速退火處理;再結晶;Polysilicon thin film transistor;Polysilicon thin film;Rapid thermalprocess;Recrystallization |
| 公開日期: | 1996 |
| 官方說明文件#: | NSC85-2215-E009-035 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/96065 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=234557&docId=43052 |
| Appears in Collections: | Research Plans |
