嵌附調細式相移光罩研製

Date

Authors

Keywords

相光移罩 , 調細相移光罩 , 微影成像 , 步進機 , 吸光相移層 , Phase-shifting mask , APSM , Microlithography , Stepper , Absorptive shifter

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=234554&docId=43051
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/96026

Collections

研究計畫;;Research Plans