標題: 嵌附調細式相移光罩研製
Fabrication of an Embedded Attenuated Phase-Shifting Mask
作者: 龍文安
Loong Wen-an
國立交通大學應用化學研究所
關鍵字: 相光移罩;調細相移光罩;微影成像;步進機;吸光相移層;Phase-shifting mask;APSM;Microlithography;Stepper;Absorptive shifter
公開日期: 1996
官方說明文件#: NSC85-2215-E009-063
URI: http://hdl.handle.net/11536/96026
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=234554&docId=43051
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