| 標題: | 微機電系統校際整合研究---子計畫二：微小機電材料與製程技術發展與研究 Micro-Electro-Mechanical Material and Processes Development and Research |
| 作者: | 羅正忠 國立交通大學電子工程學系 |
| 關鍵字: | 微機電系統;微感測器;微致動器;微元件;MEMS;Micromaching;Microsensor;Microactuator;Microdevice |
| 公開日期: | 1996 |
| 官方說明文件#: | NSC85-2215-E009-030 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/96074 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=234537&docId=43046 |
| 顯示於類別： | 研究計畫 |
