製程模擬中離子植入程式的平行化

Abstract

本研究係延續以往的專題計畫:"離子植入蒙 地卡羅程式之向量化",及"波茲曼傳輸方程式法 在積體電路製程模擬上的應用"而提出.在蒙地 卡羅程式中,因為各個離子的行徑彼此獨立相 互不相干,非常適合於向量化及平行計算,吾人 並且已有初步的成果,今後將在幾個重點上再 作深入的研究,以便得到更好的平行計算效果. 首先是亂數產生器的平行化,使每一處理器均 能獨立地工作,而各處理器間的亂數不至相關聯及重疊.其次是將吾人所發展的局部電子能 量損失模式對不同能量及入衝參數的繁雜積分 計算予以平行化.在波茲曼傳輸方程式法方面, 吾人將首先就現有的程式架構重新安排,將各 動量狀態間轉移離子個數的計算,予以平行化. 尤其是將程式中需要大量使用數值積分的部份 進行平行計算.此外對於各種原子際電位模式 的散射截面積的數值積分算亦予以平行化.本 計畫中,吾人所要使用的工具是平行虛擬機,它是一種利用網路連接,可將多臺工作站同時進 行分散式計算的軟體.