標題: 微小機電元件與系統之研究---總計畫
A Research Program on Micro-Electro-Mechanical Components and Systems
作者: 張國明
CHANG KOW-MING
國立交通大學電子工程研究所
關鍵字: 微小機電系統;微機製;感測器;致動器;微元件;Micro-electro-mechanical system;Micromachining;Sensors;Actuators;Microdevices;MEMS
公開日期: 1995
摘要: 本群體計畫將整合本校具電子、機械、材 料、物理及應用化學等專才,研究發展矽基材 之電容性微感測器(Microsensor)、微控器( Microactuator)及微小機電系統( Micro-electro-mechanicalsystem, MEMS).計畫將包含:(1) 電容性之感測器及控制器;a.感測器-如醫學用 助聽器及氣流控制等高靈敏度感測器;b.控制器-氣體與流體閥及開關及光通信等;c.以回授感 測器自校正之感測器及控制器;d.表面微小感測 器;(2)材料及製程發展與研究;a.製程技術(特別 是脫扣技術)使用在微小元件製作;b.微小元件 材料特性分析;c.工業應用微感測器包裝技術;d. 接通道(Feedthrouth)及接合技術;(3)電容性感測器 介面電路及測試;a.感測器功能分析;b.類比及數 位輸出;c.微小功率及與感測器製程匹配之ASIC. 本計畫分三年實施,第一年建立基本微小機械加工材料製程技術,感測器設計與製造及IC設計 ;第二年繼續材料技術之發展,元件製造評估及 IC與感測器積體設計製造技術;第三年將研究控 制器及表面微小機電元件.
官方說明文件#: NSC84-2215-E009-068
URI: http://hdl.handle.net/11536/96729
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=186741&docId=32341
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