標題: | 鑽石膜合成技術及其工業應用研究---子計畫五:電漿CVD法合成鑽石及類鑽石薄膜之研究 Synthesis of Diamond and Diamond Like Film Using Plasma Chemical Vapor Deposition |
作者: | 陳家富 CHEN CHIA-FU 國立交通大學材料科學工程研究所 |
公開日期: | 1995 |
官方說明文件#: | NSC84-2221-E009-036 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/96783 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=161177&docId=26824 |
Appears in Collections: | Research Plans |