| 標題: | 薄絕緣層複晶矽及相關元件之研究(V) Study on Thin Dielectrics, Poly Silicon and Related Devices(V) |
| 作者: | 李崇仁 國立交通大學電子工程研究所 |
| 關鍵字: | 薄絕緣層;複晶矽;橢圓儀;Thin dielectric;Polysilicon;Ellipsometry |
| 公開日期: | 1994 |
| 摘要: | 本計畫係一長期計畫"薄絕緣層□複晶矽及 相關元件之研究(□)□(□)□(□) "(□)之延續 計畫.全程計畫之目標,為對薄絕緣層如SiO2, SiNxOy及複晶矽薄膜等,其應用於元件上之一些 製備方式□物理性質□元件應用□測量方法等 作一研究. |
| 官方說明文件#: | NSC83-0404-E009-017 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/97412 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=120636&docId=20114 |
| Appears in Collections: | Research Plans |
