以自組裝奈米孔洞SiO/sub 2/作為次70 nm IC技術之超低介電薄膜之應用研究(III)

Files

942215E009007.PDF (688.54 KB)

Date

Authors

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1143844&docId=219366
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/90332

Collections

研究計畫;;Research Plans