Browsing by Author "TIAO-YUANHUANG"
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Item type:Item, 具有奈米尺寸通道之蕭特基薄膜電晶體元件研製與分析(2003) ;黃調元 ;TIAO-YUANHUANG國立交通大學電子工程學系Item type:Item, 具有形變通道之互補式金氧半元件製作與分析(2004) ;黃調元 ;TIAO-YUANHUANG交通大學電子工程系本計畫將製作具有形變矽、形變矽鍺表面通道之金氧半場效電晶體於矽鍺虛擬基板 上。伸張形變矽可提高電子與電洞移動率,壓縮形變矽鍺可提高電洞移動率,本實驗將 探討載子於不同晶向(100)、(110)與通道方向上<100>、<110>行進,形變對載子移動率 的作用;此外,當形變通道厚度縮減後所遇到的鍺層間擴散、額外的合金散射、界面密 度的增加等因素亦探討之;最後,高溫引致的形變釋放、矽鍺金屬矽化反應、矽鍺內摻 質擴散率的改變、電性上的自動加熱效應、負偏壓溫度不穩定性等等製程與分析問題與 載子移動率的關係,亦涵蓋在計畫的研究內。Item type:Item, 具有新式副閘極結構的低溫複晶矽薄膜電晶體的製作與分析(2000) ;黃調元 ;TIAO-YUANHUANG國立交通大學電子工程學系Item type:Item, 具有金屬閘極與高介電係數閘極介電層之奈米元件之製作與特性探討(2005) ;黃調元 ;TIAO-YUANHUANG交通大學電子工程系在本計畫中,我們將研製發展金屬閘/高介電閘極介電層的奈米CMOS 元件技 術。計劃中預定使用完全(或部份)金屬矽化閘極和其他不同金屬閘極,沉積於一具有 高介電係數閘極介電層之上,該高介電係數閘極介電層則以ALCVD 或MOCVD 來 製備。元件的分析透過pulsed IV(單一脈衝 IdVg)量測技術,可以量測到使用傳統量 測方法所無法分析的快速缺陷特性,藉此我們可以研究在高介電係數閘極介電層 (HfO2、HfON、HfSiO、HfSiON…等)中快速暫態捕捉與釋放電荷的特性。此外,我 們也將探討使用多晶矽於高介電係數介電層所遭遇到的最大問題,即費米能階鎖 住,同時探討此效應於使用不同金屬閘極時,對金屬功函數改變的影響,以及對元 件可靠度上電壓溫度不穩定性(NBTI 與PBTI)之影響。透過實驗結果的特性與分析, 預期能夠建立一套理論模型來預測元件的生命週期與可能改善之道,同時,可以從 本次計畫中獲得的知識,提供下一世代先端奈米元件的設計參考。Item type:Item, 局部與全面性形變應力矽通道金氧半電晶體之特性與可靠度分析(2005) ;黃調元 ;TIAO-YUANHUANG交通大學電子工程系本計畫是探討全面(雙軸)與局部(單軸)形變矽通道之金氧半元件製作與特性分析, 全面形變是製作具有形變矽於矽鍺虛擬基板上,而局部形變是以利用LPCVD 沉積氮化 矽產生伸張應力,與矽鍺磊晶源汲極產生壓縮應力,分別製作於NMOS 與PMOS 之上。 同時我們也將嘗試調整PECVD 沉積條件,以得到具有壓縮形變應力之氮化矽層沈積。 本實驗將探討形變應力對移動率,載子通道背向散射的影響,以及負偏壓溫度不穩定性 分析;此外,因鍺層間擴散使形變通道厚度縮減的現像、額外的合金散射、界面密度的 增加等因素亦將探討之;最後,氮化矽之特性分析、高溫引致的形變釋放、矽鍺金屬矽 化反應、矽鍺內摻質擴散率的改變、電性上的自動加熱效應等等,製程分析問題與載子 移動率的關係,亦涵蓋在計畫的研究內。Item type:Item, 深次微米T型閘極金氧半電晶體之改良研製及其效應之研究(2000) ;黃調元 ;TIAO-YUANHUANG交通大學電子工程系Item type:Item, 深次微米T型閘極金氧半電晶體之研製(1999) ;黃調元 ;TIAO-YUANHUANG交通大學電子工程系Item type:Item, 深次微米元件研製及特性分析(1997) ;黃調元 ;TIAO-YUANHUANG交通大學電子工程系Item type:Item, 深次微米多晶矽鍺閘極金氧半電晶體之研製(2000) ;黃調元 ;TIAO-YUANHUANG交通大學電子工程研究所Item type:Item, 自我對準鈷金屬矽化製程之熱穩定性及其對超薄閘極氧化層特性影響之研究(2000) ;黃調元 ;TIAO-YUANHUANG國立交通大學電子工程學系Item type:Item, 蕭特基能障SOI金氧半電晶體元件研製與分析(II)(2002) ;黃調元 ;TIAO-YUANHUANG交通大學電子工程系Item type:Item, 蕭特基能障金氧半電晶體元件研製與理論分析---子計畫II:蕭特基能障SOI金氧半電晶體元件研製與分析(2001) ;黃調元 ;TIAO-YUANHUANG國立交通大學電子工程學系Item type:Item, 蕭特基能障金氧半電晶體元件研製與理論分析---總計畫(2001) ;黃調元 ;TIAO-YUANHUANG國立交通大學電子工程學系Item type:Item, 輻射對正反短通道效應之研究(1999) ;黃調元 ;TIAO-YUANHUANG交通大學電子工程系Item type:Item, 逆向短通道效應之研究(1996) ;黃調元 ;TIAO-YUANHUANG國立交通大學電子工程學系