12吋矽晶圓半導體CVD製程設備及BST介電薄膜成長研究---子計畫I：12吋矽晶圓CVD製程設備的加熱及成長BST薄膜之進氣系統設計與反應爐系統整合(I)

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892212E009038.pdf (325 KB)

Date

Authors

Keywords

CVD反應爐 , 加熱設計 , 流力設計 , CVD reactor , Heating design , Flow design

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=501193&docId=90357
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/101659

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研究計畫;;Research Plans