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dc.contributor.author周立人en_US
dc.date.accessioned2014-12-13T10:50:46Z-
dc.date.available2014-12-13T10:50:46Z-
dc.date.issued2000en_US
dc.identifier.govdocNSC89-2215-E009-050zh_TW
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/102315-
dc.identifier.urihttps://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=541944&docId=99538en_US
dc.description.sponsorship行政院國家科學委員會zh_TW
dc.language.isozh_TWen_US
dc.subject介電常數zh_TW
dc.subject極大型積體電路zh_TW
dc.subject材料特性zh_TW
dc.subjectDielectric constanten_US
dc.subjectULSIen_US
dc.subjectMaterial characteristicsen_US
dc.title低介電常數材料應用於極大型積體電路製程與材料特性分析zh_TW
dc.titleThe Application of Low Dielectric Materials in ULSI Process and Analysis of Material Characteristicsen_US
dc.typePlanen_US
dc.contributor.department交通大學電子工程研究所zh_TW
顯示於類別:研究計畫


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  1. 892215E009050.pdf

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