形成電子裝置閘極圖案之方法

Abstract

一種形成電子裝置閘極圖案之方法,包括以下步驟:提供一基板,其上形成一第一光阻層;進行一第一道微影製程,以形成一具有一第一寬度之一第一圖案於該基板上;形成一第二光阻層,其覆蓋該基板上之該第一圖案以及該第一光阻層;以及進行一第二道微影製程,其與該第一道微影製程之間具有一位移,以形成一具有一第二寬度之一第二圖案於該基板上;其中,該第二寬度係小於該第一寬度。