標題: 具陣列式奈米孔洞之氧化鋁薄膜的製造方法
作者: 朝春光
陳建仲
陳蓉萱
郭金國
公開日期: 11-Aug-2007
摘要: 本發明提出一種具陣列式奈米孔洞之氧化鋁薄膜的製造方法,首先提供一商用鋁基材,將商用鋁基材經過退火處理,再經過電解拋光處理,以使鋁基材表面呈現鏡面效果,並接著進行陽極處理,使鋁基材表面上形成一含有奈米級之數孔洞的氧化鋁薄膜,且孔洞呈現陣列式排列,再來進行熱處理,使鋁基材產生氧化反應,而使部分較小孔洞被產生氧化反應之氧化物因自我擴散效應填滿,使得孔洞均一化,最後再進行擴孔處理,以使孔洞擴張。本發明可簡化製程、便於控制製造過程之操作,並可在同時降低成本下,在氧化鋁薄膜上得出均一孔徑且具陣列式排列之奈米孔洞分佈。
官方說明文件#: C25D011/04
C25D011/04
URI: http://hdl.handle.net/11536/106258
專利國: TWN
專利號碼: I285225
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