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dc.contributor.author吳耀銓en_US
dc.contributor.author陳俞中en_US
dc.date.accessioned2014-12-16T06:17:42Z-
dc.date.available2014-12-16T06:17:42Z-
dc.date.issued2014-07-21en_US
dc.identifier.govdocH01L033/22zh_TW
dc.identifier.govdocH01L021/306zh_TW
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/106549-
dc.description.abstract本發明提供一種半導體製程方法,包含下列步驟:提供一成長基板;形成一凹凸結構於該成長基板上;形成一半導體元件層於該凹凸結構上;以及改變該成長基板與該半導體元件層的溫度。zh_TW
dc.language.isozh_TWen_US
dc.title半導體製程方法zh_TW
dc.typePatentsen_US
dc.citation.patentcountryTWNzh_TW
dc.citation.patentnumberI446583zh_TW
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