| 標題: | 具高靈敏度生物感測之矽锗奈米線於氟強化鈍化處裡技術應用之特性研究 Investigation of Fluorine enhanced oxide passivation on SiGe nanowire with high sensitivity bio-sensor |
| 作者: | 張泰源 Chang, Tai-Yuan 張國明 許博淵 Chang, Kow-Ming Shew, Bor-Yuan 工學院加速器光源科技與應用碩士學位學程 |
| 關鍵字: | 矽鍺;奈米線;生物感測器;氟強化鈍化處裡;靈敏度;Fluorine enhanced oxide passivation;SiGe;nanowire;sensitivity;bio-sensor |
| 公開日期: | 2015 |
| URI: | http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#GT070051810 http://hdl.handle.net/11536/126287 |
| 顯示於類別： | 畢業論文 |
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