標題: | 低寄生旋轉二維平面奈米定位器之設計(II) Design of Two-Dimension Planar Nano-Positioner with Low Parasitical Rotation (Ii) |
作者: | 洪紹剛 Hung Shao-Kang 國立交通大學機械工程學系(所) |
公開日期: | 2015 |
官方說明文件#: | MOST104-2221-E009-037 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/129905 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=11570164&docId=468327 |
顯示於類別: | 研究計畫 |