完整後設資料紀錄
| DC 欄位 | 值 | 語言 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 邱一 | en_US |
| dc.date.accessioned | 2016-12-20T05:04:22Z | - |
| dc.date.available | 2016-12-20T05:04:22Z | - |
| dc.date.issued | 2016-06-16 | en_US |
| dc.identifier.govdoc | G01D005/20 | zh_TW |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11536/132281 | - |
| dc.description.abstract | 本發明係揭露一種微感測器，其包含至少一固定結構、一質量塊及至少一可變電感。質量塊設置於該些固定結構之間。質量塊分別透過可變電感與該些固定結構連結。其中，當微感測器感測到待測物理量時，質量塊會因此產生位移，進而導致可變電感形變而造成可變電感之電感值產生變化，並透過測量電路根據該些可變電感之電感值變化計算待測物理量。 | zh_TW |
| dc.language.iso | zh_TW | en_US |
| dc.title | 微感測器 | zh_TW |
| dc.type | Patents | en_US |
| dc.citation.patentcountry | TWN | zh_TW |
| dc.citation.patentnumber | 201621276 | zh_TW |
| 顯示於類別： | 專利資料 | |
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