| 標題: | 對於未知干擾和量測延遲之半導體製程批次控製研究 The Run-to-Run Control of Semiconductor Processes for unknown Disturbance and Metrology Delay |
| 作者: | 張宸毓 李安謙 Chang, Chen-Yu Lee, An-Chen 機械工程系所 |
| 關鍵字: | 干擾觀測器;史密斯預測器;混合靈敏度;批次控制;未知干擾;量測延遲;Disturbance Observer;Smith predictor;H-infinity;mixed-sensitivity;Run-to-Run control;unknown disturbance;metrology delay |
| 公開日期: | 2016 |
| URI: | http://etd.lib.nctu.edu.tw/cdrfb3/record/nctu/#GT070351087 http://hdl.handle.net/11536/139158 |
| 顯示於類別： | 畢業論文 |
- 史密斯預測器與預測干擾觀測器架構應用於半導體製程的量測延遲 / 曾瑞德;Tseng, Jui-Te;李安謙;Lee, An-Chen
- 干擾觀測器架構應用在半導體製造批次控制 / 謝明宗;Ming-Tsung Hsieh;李安謙;An-Chen Lee
- 預測干擾觀測器應用於半導體製程的隨機干擾 / 蔡德修;Tsai, Te-Hsiu;李安謙;Lee, An-Chen
- 適應性干擾觀測器於半導體製造之批次控制 / 陳鼎凱;李安謙
- 基於預測干擾觀測器之控制方法於時間延遲系統 / 林俞誠;李安謙
- 基於輸出干擾觀測器分析半導體混貨批次控制之強健性 / 周南宏;李安謙;Lee, An-Chen
- Output Disturbance Observer Structure Applied to Run-to-Run Control for Semiconductor Manufacturing / Lee, An-Chen;Pan, Yi-Ren;Hsieh, Ming-Tsung
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