鋁導線清洗製程之改善

標題:	鋁導線清洗製程之改善 Improved Cleaning Process of Al Metal Line
作者:	賴振益吳耀銓 Lai,Jen-I Wu,Yew-Chung Sermon 工學院半導體材料與製程設備學程
關鍵字:	旋轉濕式清洗機台;槽式清洗機台;電化學反應;天線效應;尖端放電;SWC;DSP;Boom swing;Electrochemistry issue;Corona discharge;Antenna effect;plasma charging
公開日期:	2016
URI:	http://etd.lib.nctu.edu.tw/cdrfb3/record/nctu/#GT070061307 http://hdl.handle.net/11536/142595
顯示於類別：	畢業論文

APA	賴., 吳., L., & Wu,Yew-Chung S. (2016). 鋁導線清洗製程之改善. http://hdl.handle.net/11536/142595.
Bibtex	@article{賴振益 and 吳耀銓 and Lai2016, title={鋁導線清洗製程之改善}, author={賴振益 and 吳耀銓 and Lai,Jen-I and Wu,Yew-Chung Sermon}, journal={http://hdl.handle.net/11536/142595}, year={2016}, url={https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/142595}, }