電容式加速度計併讀取電路之單晶片設計

標題:	電容式加速度計併讀取電路之單晶片設計 Design of Monolithic Integrated MEMS Capacitive Accelerometer with Readout Circuit
作者:	吳冠勳陳巍仁 Wu, Kuan-Hsun Chen, Wei-Zen 電子研究所
關鍵字:	加速度計;Accelerometer
公開日期:	2017
URI:	http://etd.lib.nctu.edu.tw/cdrfb3/record/nctu/#GT070350190 http://hdl.handle.net/11536/142705
Appears in Collections:	Thesis