| 標題: | 線路結構及其製備方法 |
| 作者: | 陳智 邱韋嵐 呂佳凌 |
| 公開日期: | 1-Jun-2017 |
| 摘要: | 一種線路結構及其製備方法。所述線路結構包括基板與形成在基板溝渠內的銅導線，其中銅導線是由數個晶粒兩兩連接而成。所述銅導線之表面面積的20%以上所含的晶粒均滿足每一晶粒的長度與線寬比在5以上，因此可使銅導線具有較低的電阻率以及良好的抗電遷移的特性。 |
| 官方說明文件#: | H01L023/482 H01L021/768 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/151369 |
| 專利國: | TWN |
| 專利號碼: | 201719836 |
| Appears in Collections: | Patents |
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