標題: TEMPERATURE-DEPENDENCE OF HYDROGEN IMPLANT ON PASSIVATION OF ARGON IMPLANT DAMAGE IN SILICON
作者: CHIEN, HC
ASHOK, S
CHEN, MC
電控工程研究所
Institute of Electrical and Control Engineering
公開日期: 1-七月-1988
URI: http://hdl.handle.net/11536/4506
ISSN: 
期刊: JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS
Volume: 27
Issue: 7
起始頁: L1317
結束頁: L1319
顯示於類別:期刊論文