以電漿腐刻在鈮酸鋰上製造積體光學研究

Abstract

本論文研究電漿腐刻在鈮酸鋰上的應用。實驗結果顯示，電漿腐刻在腐刻鈮酸鋰以製 造非平面式積體光學元件方面是很有潛力的。兩個實用的積體光學元件，亦即脊形波 導兩進兩出光線開關和多週期光柵透鏡即利用此種技術製造。實驗結果顯示這兩個元 件的特性可以比美於甚或優於鈦擴散型平面式波導。