利用Nd:YAG雷射的輻射研製矽－PN接面之二柱體

標題:	利用Nd:YAG雷射的輻射研製矽－PN接面之二柱體
作者:	陳鉅棟 Chen, Ju-Dong 劉濬堯陳茂傑 Liu, Jun-Yao Chen, Mao-Jie 電子研究所
關鍵字:	Nd:YAG雷射;矽;PN接面;輻射;二柱體;電子工程;LASER;SILICON;ELECTRONIC-ENGINEERING
公開日期:	1980
摘要:	本文探討雷射輻射形成 PN 接面二柱體的特性。輻射能量超過一定值，在氧化矽層上易顯出熔解現象，當輻射能量跟大時，材料劈裂是不可避免，這些缺陷嚴重影響二柱體的特性。想製造一個不同深淺接面的二柱體，尋找出最好的輻射能量是可得到的。 #2811436 #2811436
URI:	http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT694430041 http://hdl.handle.net/11536/51409
Appears in Collections:	Thesis