液相磊晶砷化鎵薄膜及其特性

Abstract

本文主要討論液相磊晶系統及技術，並以此技術將砷化鎵薄膜磊長在砷化鎵晶片的表 面。我們仔細研究了影響實驗結果的因素，對此加以探討分析並提出加以改進的建議 ，以確定所建立的液相磊晶系統實行最適當和最有效的操作程序。 在磊晶方面，為了控制磊晶層的載子濃度，我們加了一些已知特性的雜質，並做了一 連串的測量實驗，例如：電子顯微鏡及光學顥微鏡的表面測量、霍爾效應測量和蕭特 基二極體的電容－偏壓、電流－偏壓等特性測量，目的在於使所磊長出的薄膜的特性 能完全控制並重覆再生，更者，薄膜的晶格方向，我們利用了Ｘ光繞射光譜來分析。