微型氣體分析儀

Abstract

本文探討一利用微電子光腐刻技術將微型氣體色相分析系統製於矽晶圓的設計考慮及 部份製造技術，此一微型氣體色相分析糸統包括一氣體。取樣活門，二米長的毛細管 ，及熱傳導偵測器，利用修改的理論，本文完成管道成效的分析，藉此作為設計的參 考，微型色層分析糸統之計算機輔助圖樣產生的軟體程式業亦發展完成；並藉此成功 地研製出此系統所需的光面罩。藉研製完成的光面罩，毛細管道亦採用矽等向腐刻技 術成功地研製完成。同時，派麗克斯玻璃與矽晶圓間的電場輔助封裝技術亦作初步嘗 試，其結果亦令人增加信心。這些技術的完成對將來的系統發展甚為重要。