標題: 光學計數系統
作者: 鍾坤泰
ZHONG, KUN-TAI
謝正雄
XIE, ZHENG-XIONG
光電工程學系
關鍵字: 光學計數系統;晶方;投影;掃瞄;軟體計數;晶片;CCD;CMA
公開日期: 1988
摘要: 本論文研究目的在改善過去設計之一自動化光學計數系統,以便訊速且精確地計數出 一平面上許多不規則的晶方數目。 工廠在半導體晶片製造完成後,一個極大的晶片經過切割成晶方再經分離,和劣品檢 出的過程,最後一整片晶片上的晶方數量已無法確定,必須重新計數,否則在內部物 料流程及市場交易時,將造成物料盤點和銷貨點數的困擾。國內的工廠對此種計數, 以前仍利用人眼估計,但因晶方已無規則排列形狀,致使計數的正確性相當不可靠。 例如發光二極體(LED )之類的個立元件,細小,量多,而價值低,如果利用人工計 數將使成本提高,利潤減低。 在研究中,設計一個打光投影的結構,以光自動回授控制電路調變光源,使光源能達 到取得物最佳影像的光度。此時光透過擴散片產生均勻的平面光,源從物的正上方投 射在物(晶片)的表面。啟動掃瞄器使CCD 線性地攝取(grabbing)物的影像,接著 影像資料從類比訊號轉換成二位元的數位影像訊號。以DMA 方式把資料輸入電腦的記 憶體儲存,以便利軟體處理。軟體程式可將掃瞄進來的圖像分割成等分的八頁,以原 始解析度顯示在監示器上,使利檢視所取得影像的好壞。啟動雷射印表機,可將影像 列印成原物大小的圖像,作為存檔備查用。 利用三種軟體計數方法,把晶片的總晶方數目計數出來,最好的一種其計數結果誤差 約在±0.1%以下。本系統一次可在3分鐘以內計數最多四萬個規則排列的晶方數 目,不但節省了人工計數的費時和不準確,且更優於以前我們所發展的系統,深具有 經濟價值。
URI: http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT772123011
http://hdl.handle.net/11536/53661
顯示於類別:畢業論文