使用偏光移相器之移相干涉儀

Abstract

本論文提出一種由四分之一波板、二分之一波板及線性偏極板所組成之新型偏光移相 器，此種新型的偏光移相器具有連續式移相及步階式移相的功能；並能適用於各種型 式的干涉儀，將各種型式干涉儀改良成移相干涉儀。利用移相干涉術，結合固態電子 元件及影像處理技術能夠快速而準確的進行各種精密量測。 本論文其分五，各章內容提要如下： 第一章緒論：簡介移相干涉術的歷史背景。 第二章：移相干涉術的基本原理及偏光元件之Jones 矩陣表示探討移相干涉術的基本 原理及偏光元件之２×２階矩陣表示法。 第三章使用偏光移相器之移相干涉術原理：由理論上探討由偏光元件所組成之新型移 相器的移相特性，最佳使用條件，以使其產生所需的外加相位變化，而量得待測相位 第四章各種使用偏光移相器之移相干涉儀：將本研究中所設計之新型移相器應用到四 種最具代表性的傳統式干涉儀中，由實驗上定性及定量地探討此種偏光移相器的優越 性及準確性，並以應用在散射板干涉儀測量非球面的範例，來驗證此新型移相器適合 精密量測的實用性。 第五章總結：歸納本研究所得的結果，並對本文所討論之移相干涉儀之現在及未來的 研究方向做一些建議。