標題: | 濾光性偵測元件之製作 |
作者: | 何宏哲 HE, HONG-ZHE 謝正雄 XIE, ZHENG-XIONG 光電工程學系 |
關鍵字: | 濾光性;偵測元件;液相磊晶技術;動態電阻;離軸光線 |
公開日期: | 1988 |
摘要: | 本實驗利用液相磊晶技術,成功地長出單層的磊晶層,製成了兼具測光與濾光特性的 濾光式光偵測器。 在元件方面,我們作了一連串的測量,以電子顯微鏡掃描來觀察磊晶層的切面及其厚 度,經由I-V的測量可得動態電阻。並利用不同的磊晶層厚度,摻雜濃度及溫度來 調變光偵測器的光電流。並且使用入射方向不垂直於入射面的離軸光線來測定其對廣 視角用途的可行性。 |
URI: | http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT772123054 http://hdl.handle.net/11536/53709 |
顯示於類別: | 畢業論文 |