濾光性偵測元件之製作

Abstract

本實驗利用液相磊晶技術，成功地長出單層的磊晶層，製成了兼具測光與濾光特性的 濾光式光偵測器。 在元件方面，我們作了一連串的測量，以電子顯微鏡掃描來觀察磊晶層的切面及其厚 度，經由Ｉ－Ｖ的測量可得動態電阻。並利用不同的磊晶層厚度，摻雜濃度及溫度來 調變光偵測器的光電流。並且使用入射方向不垂直於入射面的離軸光線來測定其對廣 視角用途的可行性。