标题: 滤光性侦测元件之制作
作者: 何宏哲
HE, HONG-ZHE
谢正雄
XIE, ZHENG-XIONG
光电工程学系
关键字: 滤光性;侦测元件;液相磊晶技术;动态电阻;离轴光线
公开日期: 1988
摘要: 本实验利用液相磊晶技术,成功地长出单层的磊晶层,制成了兼具测光与滤光特性的
滤光式光侦测器。
在元件方面,我们作了一连串的测量,以电子显微镜扫描来观察磊晶层的切面及其厚
度,经由I-V的测量可得动态电阻。并利用不同的磊晶层厚度,掺杂浓度及温度来
调变光侦测器的光电流。并且使用入射方向不垂直于入射面的离轴光线来测定其对广
视角用途的可行性。
URI: http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT772123054
http://hdl.handle.net/11536/53709
显示于类别:Thesis