标题: | 滤光性侦测元件之制作 |
作者: | 何宏哲 HE, HONG-ZHE 谢正雄 XIE, ZHENG-XIONG 光电工程学系 |
关键字: | 滤光性;侦测元件;液相磊晶技术;动态电阻;离轴光线 |
公开日期: | 1988 |
摘要: | 本实验利用液相磊晶技术,成功地长出单层的磊晶层,制成了兼具测光与滤光特性的 滤光式光侦测器。 在元件方面,我们作了一连串的测量,以电子显微镜扫描来观察磊晶层的切面及其厚 度,经由I-V的测量可得动态电阻。并利用不同的磊晶层厚度,掺杂浓度及温度来 调变光侦测器的光电流。并且使用入射方向不垂直于入射面的离轴光线来测定其对广 视角用途的可行性。 |
URI: | http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT772123054 http://hdl.handle.net/11536/53709 |
显示于类别: | Thesis |