标题: 铂/ 镍铬合金/ 矽及铂/ 镍钛合金/ 矽萧特基二极体特性之研究
作者: 王建国
WANG, JIAN-GUO
雷添福
苏翔
LEI, TIAN-FU
SU, XIANG
电子研究所
关键字: 铂;镍铬合金;矽;镍钛合金;萧特基二极体;二极体;合金
公开日期: 1988
摘要: 本论文针对铂/镍铬合金/矽(Pt/Ni Cr /Si)及铂/镍钛合金/矽(Pt/Ni
Ti /Si) 萧特基二极体在各种不同退火温度及退火时间之条件下,作一系列之探
讨。研究结果显示,此二种结构在经过退火处理后,镍矽化物萧特基接触及对铂之扩
散阻挡层可同时形成。吾人并依据铬及钛作为对铂之扩散阻挡层具有之机制建立此二
种萧特基二极体之最佳化合金比例及退火处理条件。对铂/镍铬合金/矽而言,由于
萧特基能障高度(Schottky Barrier Height) 之热稳定性需与理想因数(Indeali-
ty Factor) 互相调和,因此镍 铬 (Ni Cr )会是最佳之合金比例。此一
比例之最佳退火条件为480℃、60分钟。对铂/镍钛合金/矽形成介于金属间化
合物(Intermetallic Compound),因而具有较佳之阻挡铂之效果,也因而有较好之
能障高度热稳定性及理想因数。
此外,吾人亦比较此二种二极体之电性及物性,结果显示由于镍、钛矽化物形成温度
差较大及钛矽化物阻值较铬化物为低之原因,使得铂/镍钛合金/矽具有较佳之热稳
定性。
在铂/镍铬合金/矽反应中,吾人观察到相分离(phase-Separation)之现象,但在
铂/镍铬合金/矽中,钛在经过高温退火处理后会延展(Spread)开来,而不会形成
相分离。
由于在整流元件方面之运用,吾人亦探讨二极体之逆向特性在不同制程条件下,其崩
溃电压及漏电流之变化,并制造出一个崩溃电压47伏(在此逆电压时,漏电流小于
400微安培)之萧特基二极体。
URI: http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT772430073
http://hdl.handle.net/11536/53943
显示于类别:Thesis