标题: | 铂/ 镍铬合金/ 矽及铂/ 镍钛合金/ 矽萧特基二极体特性之研究 |
作者: | 王建国 WANG, JIAN-GUO 雷添福 苏翔 LEI, TIAN-FU SU, XIANG 电子研究所 |
关键字: | 铂;镍铬合金;矽;镍钛合金;萧特基二极体;二极体;合金 |
公开日期: | 1988 |
摘要: | 本论文针对铂/镍铬合金/矽(Pt/Ni Cr /Si)及铂/镍钛合金/矽(Pt/Ni Ti /Si) 萧特基二极体在各种不同退火温度及退火时间之条件下,作一系列之探 讨。研究结果显示,此二种结构在经过退火处理后,镍矽化物萧特基接触及对铂之扩 散阻挡层可同时形成。吾人并依据铬及钛作为对铂之扩散阻挡层具有之机制建立此二 种萧特基二极体之最佳化合金比例及退火处理条件。对铂/镍铬合金/矽而言,由于 萧特基能障高度(Schottky Barrier Height) 之热稳定性需与理想因数(Indeali- ty Factor) 互相调和,因此镍 铬 (Ni Cr )会是最佳之合金比例。此一 比例之最佳退火条件为480℃、60分钟。对铂/镍钛合金/矽形成介于金属间化 合物(Intermetallic Compound),因而具有较佳之阻挡铂之效果,也因而有较好之 能障高度热稳定性及理想因数。 此外,吾人亦比较此二种二极体之电性及物性,结果显示由于镍、钛矽化物形成温度 差较大及钛矽化物阻值较铬化物为低之原因,使得铂/镍钛合金/矽具有较佳之热稳 定性。 在铂/镍铬合金/矽反应中,吾人观察到相分离(phase-Separation)之现象,但在 铂/镍铬合金/矽中,钛在经过高温退火处理后会延展(Spread)开来,而不会形成 相分离。 由于在整流元件方面之运用,吾人亦探讨二极体之逆向特性在不同制程条件下,其崩 溃电压及漏电流之变化,并制造出一个崩溃电压47伏(在此逆电压时,漏电流小于 400微安培)之萧特基二极体。 |
URI: | http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT772430073 http://hdl.handle.net/11536/53943 |
显示于类别: | Thesis |