標題: 紅外光學顯微鏡的射計
作者: 王伯剛
WANG,BO-GANG
陸懋宏
LU,MAO-HONG
光電工程學系
關鍵字: 紅外光學;顯微鏡;紅外顯微鏡;積體電路元件;發熱狀況;檢驗工具;材料;醫燎
公開日期: 1990
摘要: 紅外顯微鏡主要是用來觀察積體電路元件工作時的發熱狀況,是積體電路生產的一種 非常有效的檢驗工具,也被廣泛的應用在許多領域,包括材料、醫療、生物等方面。 這篇論文內容包括一般光學顯微鏡的設計方法、十倍和二十倍紅外顯微物鏡的設計方 法和結果以及光學設計程式的使用方法。 首先我們要決定用幾面透鏡來設計,再利用匹配原理來消除球差和彗差。從而穫得透 鏡的初始參數。再適當的選定雙數和加權指數作最佳化(Optimization)的計算, 直 到穫得我們所需要的結果為止。
URI: http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT792124023
http://hdl.handle.net/11536/55211
顯示於類別:畢業論文