紅外光學顯微鏡的射計

Abstract

紅外顯微鏡主要是用來觀察積體電路元件工作時的發熱狀況，是積體電路生產的一種 非常有效的檢驗工具，也被廣泛的應用在許多領域，包括材料、醫療、生物等方面。 這篇論文內容包括一般光學顯微鏡的設計方法、十倍和二十倍紅外顯微物鏡的設計方 法和結果以及光學設計程式的使用方法。 首先我們要決定用幾面透鏡來設計，再利用匹配原理來消除球差和彗差。從而穫得透 鏡的初始參數。再適當的選定雙數和加權指數作最佳化（Optimization）的計算, 直 到穫得我們所需要的結果為止。