標題: 溶膠-凝膠法製備PLZT薄膜及特性研究
Preparation and characterization of Sol-Gel drived PLZT thin films
作者: 周宜衡
ZHOU, YI-HENG
曾俊元
ZENG, JUN-YUAN
應用化學系碩博士班
關鍵字: PLZT薄膜;燒結;鐵電
公開日期: 1991
摘要: 本論文是研究以溶膠-凝膠法來製作鐵電性PLZT薄膜。比起其他薄膜製程方式,溶膠 -凝膠法具有經濟、簡便、易於控制成份等優點。在實驗中,以醋酸鉛、硝酸欄及鐺 、太的有機金屬化合物為起始物,以2-甲氧基乙醇為溶劑,配製成澄清的前驅物溶液 ,並利用旋轉鍍膜的方式在不同的基板上製做薄膜。在導電性基板方面是在矽晶片上 鍍上金或白金為電極;在絕緣性基板中是在氧化鋁、氧化鎂、太酸思及玻璃上製 做PLZT薄膜。不同性質的基板,其製程條件略有不同。在論文中,對於燒結的溫度、 燒結的時間以及氣氛的控制均有詳細的探討;適當的基板選用,升降溫速率和溶液黏 度的控制將可避免薄膜的裂縫產生。不同的儀器設備亦被用研究此PLZT薄膜的特性。
URI: http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT802500040
http://hdl.handle.net/11536/56348
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